高分辨率的微型光纖光譜儀研制.pdf

1、近年來(lái)，隨著MEMS微機(jī)電(micro-electromechanical-system)技術(shù)的發(fā)展，光譜儀的微型化成為可能。無(wú)論是在實(shí)驗(yàn)級(jí)還是工業(yè)應(yīng)用級(jí)的光譜儀的研發(fā)方面，國(guó)內(nèi)外都取得了較大的成果，尤其是基于CCD的微型光纖光譜儀，由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積微小，適應(yīng)野外作業(yè)和實(shí)時(shí)檢測(cè)，已經(jīng)廣泛運(yùn)用于環(huán)境監(jiān)測(cè)、藥品制作、LED照明分析、工業(yè)監(jiān)測(cè)、空間探索等多個(gè)重要領(lǐng)域。
　　由于大部分的電子光譜處于近紫外區(qū)域，而目前紫外光譜儀普遍存在分

2、辨率較低、體積較為龐大的問(wèn)題，本文分別制備了基于交叉型切爾尼-特納結(jié)構(gòu)和平場(chǎng)凹面全息光柵結(jié)構(gòu)的近紫外光柵光譜儀樣機(jī)，并且比較了兩臺(tái)樣機(jī)的主要性能參數(shù)。最終基于C-T結(jié)構(gòu)的光譜儀光譜范圍為192nm-389nm，分辨率達(dá)到0.25nm左右，符合高分辨率紫外光譜檢測(cè)的要求。
　　本文主要探討便攜式光纖光譜儀的光學(xué)結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，比較不同光學(xué)結(jié)構(gòu)光譜儀的工作光譜范圍及分辨率，并且使用ZEMAX軟件進(jìn)行優(yōu)化，確定光譜儀的光學(xué)結(jié)構(gòu)，根據(jù)原理性樣