S波段窄帶帶通BAW濾波器設(shè)計.pdf

1、由FBAR組成的BAW濾波器能夠滿足目前高性能射頻前端濾波的要求，是一種全新的射頻濾波器解決方案。基于XX機構(gòu)給出的技術(shù)指標(biāo)，結(jié)合工藝約束條件，設(shè)計了一個滿足各項指標(biāo)的，中心頻率為2.460GHz，帶寬為41MHz，帶內(nèi)插損為-1.154dB，帶內(nèi)紋波為0.9dB，帶外抑制為-42.5dB@2.390GHz;-45.5dB@2.500GHz的S波段窄帶帶通BAW濾波器。所設(shè)計的濾波器的各項指標(biāo)值均優(yōu)于設(shè)計指標(biāo)中的要求。設(shè)計的濾波器具有較

2、低的帶內(nèi)插損、較高的帶外抑制，能夠滿足當(dāng)前S波段無線通信的應(yīng)用。具體工作包括：
　　在第三章中，通過調(diào)節(jié)電極/壓電層厚度設(shè)計了一個具有較高k2eff，同時可以獲得較小平面尺寸的FBAR各膜層厚度參數(shù)。通過電極變跡的方法設(shè)計了各FBAR形狀，該方法能夠抑制寄生模式，提高FBAR的Q值。
　　在第四章中，使用Mason模型設(shè)計并優(yōu)化得到了一個滿足各項指標(biāo)(帶寬、中心頻率、帶外抑制和帶內(nèi)插損以及紋波)的S波段BAW濾波器的結(jié)構(gòu)參數(shù)

3、。并通過一個電感有效改善了BAW濾波器的帶外抑制。
　　在第五章中，設(shè)計并驗證了一個 BAW濾波器的布局結(jié)構(gòu)。該布局結(jié)構(gòu)能夠減少寄生電感、寄生電容、歐姆損耗對BAW濾波器性能的影響。為了評估使用Mason模型設(shè)計的S波段BAW濾波器的性能，建立了BAW濾波器的聲-電磁協(xié)同仿真模型。由于仿真得到的帶內(nèi)紋波不滿足指標(biāo)要求，因此重新設(shè)計了BAW濾波器的結(jié)構(gòu)參數(shù)，直到成功通過聲-電磁協(xié)同仿真模型的性能驗證。根據(jù)該布局結(jié)構(gòu)，設(shè)計了BAW濾波