斷續(xù)波長(zhǎng)掃描研究.pdf

1、波長(zhǎng)掃描干涉技術(shù)是現(xiàn)代光學(xué)測(cè)量中的高精度檢測(cè)技術(shù)，是當(dāng)前檢測(cè)技術(shù)的重要發(fā)展方向之一，有著非常廣泛的發(fā)展前景。目前，國(guó)內(nèi)外越來(lái)越多的學(xué)者致力于波長(zhǎng)掃描干涉的研究。但是傅里葉變換由于采樣使時(shí)域和頻域出現(xiàn)離散性，以及加窗窗口的有限長(zhǎng)度，往往會(huì)造成在頻譜分析中會(huì)出現(xiàn)一些現(xiàn)象：頻譜泄露、頻譜混疊。而且在波長(zhǎng)掃描過(guò)程中，存在激光器的模跳問(wèn)題和掃描波長(zhǎng)與時(shí)間的非線性變化問(wèn)題，這些都嚴(yán)重影響了縱向分辨率和利用傅里葉變換的方法構(gòu)建深度位移場(chǎng)信息。對(duì)于這些

2、問(wèn)題，本文提出了一種可以檢測(cè)出模跳時(shí)波長(zhǎng)變化大小的算法，該算法對(duì)每張拍攝的干涉圖片在x，y方向上做二維的傅里葉變換處理，其相位變化與波長(zhǎng)變化成正比。因而，通過(guò)對(duì)卷繞相位的解卷繞，便能成功檢測(cè)出模跳時(shí)△k的大小?！鱧的成功監(jiān)視，有利于處理更多有效的采樣信息。而在數(shù)據(jù)處理時(shí)，本文采用 Prony算法而非傳統(tǒng)的傅里葉變換，因其對(duì)比傅里葉變換，得到的頻率精度更高。不幸的是，Prony算法對(duì)噪聲非常敏感，需要首先對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行SVD降噪處理。最終