新型光堿產(chǎn)生劑的制備與應(yīng)用.pdf

1、光堿產(chǎn)生劑(PBGs)可以在光照條件下釋放有機(jī)堿催化劑,產(chǎn)生的有機(jī)堿可以催化聚合物的一系列反應(yīng),在微電子成像和光刻膠領(lǐng)域有極大的應(yīng)用價(jià)值。本文研制了新型雙環(huán)胍類光堿產(chǎn)生劑和催化劑,并研究了其在光引發(fā)催化聚合物交聯(lián)反應(yīng)和改性方面的應(yīng)用。
　　 本文選擇雙環(huán)胍類強(qiáng)堿:1,5,7-三氮雜雙環(huán)[4.4.0]癸-5烯(TBD)作為有機(jī)堿催化劑,烴基作為發(fā)色團(tuán),提出一條簡單、可行的PBGs合成路線。選擇三種不同發(fā)色團(tuán):烷烴基、苯基和不飽和烴

2、基,可以更加全面的代表TBD衍生物的性質(zhì)和應(yīng)用。生成的三種TBD化合物,收率高,純度好。本文測試了產(chǎn)品的一系列性能:包括核磁、紅外光譜、溶解性、熱穩(wěn)定性、紫外吸收及溶液濃度、陽離子和不同極性溶劑對紫外吸收的影響,還檢測了產(chǎn)品的熒光量子產(chǎn)率,提出了產(chǎn)品的光引發(fā)機(jī)理。
　　 經(jīng)過測試,可以證明,本文合成的三類新型PBGs的各類性能都符合工業(yè)實(shí)際應(yīng)用的需要:收率高;純度好;溶解性好;熱穩(wěn)定性大大高于目前常用光引發(fā)催化劑;紫外吸收范圍符

3、合微電子產(chǎn)業(yè)的要求,特別適用于光刻膠工業(yè)領(lǐng)域;量子產(chǎn)率平均值0.5,大大高于工業(yè)要求的0.1,也高于現(xiàn)有PBGs量子產(chǎn)率平均值,說明光解效率好;產(chǎn)品光引發(fā)條件適宜,在曝光10min內(nèi),三種化合物都可以產(chǎn)生強(qiáng)堿催化劑TBD,從而應(yīng)用于微電子和涂層領(lǐng)域。
　　 在光照條件下,強(qiáng)堿TBD可以從TBD衍生物中釋放出來,有效催化聚合物酯交換反應(yīng)。本文獨(dú)創(chuàng)性地提出了一種光交聯(lián)水溶性聚合物的研究,并且分別合成了三類以去離子水作為顯影液的環(huán)境友

4、好型三組分光刻膠:合成的三類新型PBGs,乙烯基吡咯烷酮(VP)、甲氨基乙基甲基丙烯酸酯(DMAEMA)的聚合物[poly(VP-co-DMAEMA)]和2-羥乙基纖維素(HEC)。本文用核磁共振,紫外可見光譜,差示掃描量熱儀和熱重分析等測試方法研究了PBGs,聚合物組分,曝光時(shí)間,后烘(PEB)溫度,PEB時(shí)間和清洗時(shí)間對光刻膠光交聯(lián),圖案化的影響,闡述了光交聯(lián)機(jī)理。由于TBD衍生物催化活性高、制備簡單、溶解性好,所以將其作為光堿引發(fā)