大氣壓脈沖輝光放電輔助脈沖調(diào)制射頻輝光放電.pdf

1、大氣壓輝光放電近年來(lái)一直是等離子體研究熱點(diǎn)之一。在之前的研究中，對(duì)大氣壓輝光放電的幾種重要的形式即大氣壓脈沖輝光放電，大氣壓介質(zhì)阻擋輝光放電以及大氣壓射頻輝光放電等都做了大量的研究，這些放電形式都有著各自的特點(diǎn)，而脈沖調(diào)制射頻輝光放電實(shí)現(xiàn)了放電強(qiáng)度和放電穩(wěn)定性的有效調(diào)控，但也表現(xiàn)出新的問(wèn)題，即放電的維持電壓偏高，起輝不易等問(wèn)題。
　　本論文將在脈沖調(diào)制射頻輝光放電中射頻放電段之間引入脈沖放電，通過(guò)改變大氣壓脈沖放電與射頻放電段之間

2、的時(shí)間間隔和脈沖放電強(qiáng)度，研究脈沖放電對(duì)射頻放電段起輝階段的影響。
　　首先，通過(guò)比較大氣壓脈沖調(diào)制射頻輝光放電中引入脈沖放電后，與單純的脈沖調(diào)制射頻輝光放電的射頻放電段的起輝階段的電學(xué)特性和光學(xué)特性后，發(fā)現(xiàn)引入脈沖放電后射頻放電段的起輝時(shí)間變短，且起輝電壓和維持電壓也相應(yīng)降低。
　　然后，分別通過(guò)改變脈沖放電與射頻放電段時(shí)間間隔和脈沖放電放電強(qiáng)度來(lái)探究這兩個(gè)因素對(duì)射頻放電段的規(guī)律性影響。在脈沖放電強(qiáng)度不變的條件下的脈沖放電

3、與射頻放電段時(shí)間間隔為2μs，5μs和8μs這三種情況，以及在脈沖放電與射頻放電段時(shí)間間隔維持在5μs時(shí)，脈沖放電電流強(qiáng)度峰峰值為0.86A，1.22A和2.24A的三種情況下分別進(jìn)行具體研究，通過(guò)研究發(fā)現(xiàn)，在脈沖放電強(qiáng)度的電流峰峰值為1.22A的情況下，隨著時(shí)間間隔的減小，射頻放電的起輝時(shí)間也在逐漸減少，最多可以減少0.8μs；而在脈沖放電與射頻放電段時(shí)間間隔為5μs不變的情況下，隨著脈沖放電電流強(qiáng)度的增加(電流強(qiáng)度峰峰值的大小不超過(guò)