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文檔簡介
1、本文介紹了國內(nèi)外對多層衍射光學(xué)元件的研究現(xiàn)狀,闡述了多層衍射光學(xué)元件的理論基礎(chǔ),討論了多層衍射光學(xué)元件的特性,給出了多層衍射光學(xué)元件最大光柵厚度的優(yōu)化設(shè)計(jì)方法,分析了構(gòu)成多層結(jié)構(gòu)的每塊單層衍射元件的衍射效率對整體衍射效率的貢獻(xiàn)作用。利用PS和PMA兩種材料優(yōu)化設(shè)計(jì)了一個多層衍射光學(xué)元件,在436-656nm的可見光波段,該元件最低衍射效率可達(dá)到98%以上,克服了單層衍射元件偏離設(shè)計(jì)波長后衍射效率顯著下降的缺點(diǎn),改善了寬波段衍射效率。并且
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