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文檔簡介
1、隨著信息科技的迅猛發(fā)展,MEMS傳感器的應(yīng)用越來越廣泛,MEMS加速度計在慣性傳感器件中具有不可替代的作用。然而隨著溫度的改變,加速度計的輸出將產(chǎn)生某種偏差,所以有必要對其進行一定的溫度補償。目前的溫度補償方案主要是根據(jù)測得的溫度按照一定的方法實現(xiàn)對加速度計輸出的補償。為便于信號的處理,需要將測得的溫度的模擬量轉(zhuǎn)換成數(shù)字形式。由于逐次逼近模數(shù)轉(zhuǎn)換器具有精度、面積、速度、功耗等獨特優(yōu)勢,因此,它是實現(xiàn)MEMS加速度計溫度信號模數(shù)轉(zhuǎn)換的最佳
2、選擇。
本論文設(shè)計的逐次逼近模數(shù)轉(zhuǎn)換器主要分為四個部分:DAC、比較器、時序控制、I2C接口電路。首先,本論文研究了幾種電荷型DAC的功耗,設(shè)計了一種功耗最優(yōu)的基于共模電平的電荷型DAC結(jié)構(gòu),同時采取分段電容的方式將電容陣列分為高6位和低6位兩段,減小電容的總面積,降低了DAC的功耗。其次,本論文設(shè)計了一個預(yù)放大器和鎖存器相結(jié)合的比較器,以減小傳輸延時,提高其速度;使用動態(tài)鎖存器,達到了降低比較器功耗的目的;采用了輸出存儲失調(diào)
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