VHF波段的MEMS振蕩器研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩98頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認領(lǐng)

文檔簡介

1、時鐘是電子系統(tǒng)的關(guān)鍵部件，而MEMS振蕩器具有替代石英晶體振蕩器的前景和競爭性。VHF（甚高頻）波段頻率范圍為30MHz-300MHz，計算機和通信系統(tǒng)中使用的石英晶體振蕩器的工作頻率大多數(shù)也在該波段內(nèi)。對于替代傳統(tǒng)的石英晶體振蕩器，重點研究VHF波段的MEMS振蕩器顯得尤其重要。
　　本文中分析了主流的靜電式和壓電式諧振器設(shè)計方案，根據(jù)性能對比最終選取壓電式諧振器方案。壓電式諧振器的具體實現(xiàn)采用AlN作為壓電換能材料的TPoS(

2、Thin-Film Piezoelectric-on-Substrate)結(jié)構(gòu)，設(shè)計頻率為70MHz、100MHz和150MHz。基于MEMS CAPs的PiezoMUMPs加工工藝，利用L-EDIT軟件完成諧振器的版圖設(shè)計，并由MEMS CAPs公司完成加工。
　　加工后利用探針臺進行了裸片測試，然后在封裝完成后做了常溫和高低溫實驗，研究輸入功率和溫度對諧振器的影響?；贛BVD(Modified Butterworth-Van

3、Dyke)模型對100MHz諧振器進行建模，并基于模型在ADS內(nèi)完成振蕩器電路的設(shè)計和仿真。然后在常溫條件下進行了頻率穩(wěn)定度測試，測試結(jié)果表明MEMS振蕩器的頻率穩(wěn)定度較差。最后研究了MEMS振蕩器的溫度補償方案，創(chuàng)新性地提出了雙MEMS諧振器結(jié)構(gòu)的高精度溫度測量方案，理論推導(dǎo)了多層材料的溫度系數(shù)公式。
　　本課題研制了VHF波段的MEMS振蕩器，其實際工作頻率為101.97MHz，相位噪聲指標(biāo)為-110dBc/Hz@1kHz，-

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論