Al2O3-B2O3-SiO2+Al2O3系列玻璃陶瓷復合材料制備與性能研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、21世紀電子產(chǎn)業(yè)的影響滲透到人們生活的方方面面,電子產(chǎn)品在信息時代背景下日趨向小型化、集成化、數(shù)字化方向發(fā)展,這對承載元件的封裝基板來說,也是一種挑戰(zhàn)。玻璃/陶瓷類低溫共燒陶瓷(LTCC)因其優(yōu)異的低溫燒結(jié)、低介電常數(shù)低損耗等特點吸引了廣泛關注。本文以Al2O3-B2O3-SiO2+Al2O3玻璃/陶瓷為研究對象分為三個部分對材料進行實驗。
  首先,Al2O3-B2O3-SiO2玻璃作為基礎玻璃,探究了玻璃中氧化鋁的含量變化對復

2、合材料性能的影響。結(jié)果表明,隨著玻璃中Al2O3摻入量的增大,材料的介電常數(shù)、介電損耗、抗彎強度都增大。選定適中的Al2O3摻量,再在玻璃中進一步分別加入不同比例的LAB(Li-Al-B復合物)、CBS(CaO-B2O3-SiO2玻璃)、AST(各種硼硅酸鹽玻璃的混合),結(jié)果表明適量的三種物質(zhì)的加入都有助燒效果,促進液相燒結(jié)的進行,提升材料的致密性、介電性能與力學性能。其中LAB的改善作用相對較弱,CBS與AST對材料性能的提升作用較強

3、。當LAB、CBS、AST在ABS玻璃中的含量分別為3wt%、4wt%、2wt%時,材料獲得最佳性能。
  其次,Al2O3作為基礎陶瓷,研究了不同玻璃/陶瓷的比例對材料微觀形貌、密度、介電性能及抗彎強度的影響。分析發(fā)現(xiàn)當ABS玻璃:Al2O3=50:50,燒結(jié)溫度為850℃時,ABS玻璃與Al2O3陶瓷的界面過渡層最致密,降低介電損耗,提高抗彎強度。在這個比例之下,用石英砂替代氧化鋁,探究替換比例對材料晶相、微觀形貌、介電性能、

4、抗彎強度的影響。結(jié)果顯示,石英砂與ABS玻璃的化學兼容性較差,內(nèi)部氣孔率較大,隨著替換比例的增大,材料的主晶相逐漸由Al2O3轉(zhuǎn)變?yōu)镾iO2,材料的致密性變差,介電常數(shù)與抗彎強度都降低,介電損耗先增加后減小。
  最后,在ABS玻璃中加入BaO研究對材料致密度、介電性能、抗彎強度的影響。BaO的加入可以降低玻璃黏度,一定范圍內(nèi)促進液相燒結(jié),對材料的致密度與抗彎強度有明顯的提升作用,當BaO在玻璃中的摻量為2wt%時,抗彎強度達到最

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