壓縮載荷下納米尺度薄膜材料破壞機(jī)理的實(shí)驗(yàn)研究.pdf_第1頁(yè)
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1、2005年1月ABSTRACTnlestudyabouttinyscalemechanicsandmaterialperformanceinMEMSsystemtodayisahottopicintheintercrossinvestigationamongmanyinternationalsubjectThemechanicsbehaviorofmembranematerialunderresidualstressandcompres

2、sivestresshasbeenstudiedDeformation，stress，fractureandbuckleareinvolvedThemechanicsbehaviorespeciallyamongnanoscaleisimportantandhaswidelyapplicationforgroundInthispaperweselecttherepresentativefilmandsubstratecombinatio

3、nOneisthecombinationoftitaniumandpolysaccharideanotheristitaniumandorganicWehavesampleswithdifferentthicknessfrom50nanometerto150nanometerAllthesamplesweredepositedDuringthedepositionprocessweneedtocontrolmanyparametersw

4、hichinvolveinitialvacuumandworkpressureandthespeedofdepositionSOthatwecarlgaintheexactthichnessoffilmInthispaperweanalyzedthemechanismofstraight—sidedbulkingandthepropagationofbulkingdrivendelamintaionConditionsforsteady

5、stategrowthofbuckling—drivendelaminationinthinfilmsystemscanbecalculatedbyasimplifiedmethodwheredetailsaroundthegrowingfrontarenotrequiredThesimplifiedmethodreliesuponestimatesofthephaseangleofloadingalongthepropagationf

6、rontofdelaminationInthispaperwehavedesignednewcompressivedeviceThefilmneedsaxialcompressivestressTheacuuracyofexperimentalresultsreliesonthemachiningofthesubstrateandthemethodofdepositionThemachiningaccuracyofthecompress

7、ivedeviceCanalsoaffecttheresultsUndertheconditionofcombinationeffectofaxialcompressivestressandresidualstesswestudythewholeprocessfromdelaminationtobulkingAlltheresultsCanbegainedbytheuseofOLYMPUSWealsoobservedthewholegr

8、owingprocessofstrai曲ted—sidedbulkingInthispaper，wemeasuredtheheightofbulkingunderdifferentstessanddiscussedthecoexistofdifferentbulkingIntheendbytheuseoftheANSYSsoftwarewesimulatedtheprocessofbulkingKEYWORDSBuckling—driv

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