基于DSP的硅微陀螺儀的測(cè)控技術(shù)研究.pdf

1、過(guò)去的幾十年，隨著集成電路技術(shù)的成熟和發(fā)展，產(chǎn)生了一種新型的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)。其中，硅微型測(cè)量單元是MEMS技術(shù)的一個(gè)重要應(yīng)用領(lǐng)域，而硅微型機(jī)械陀螺儀是構(gòu)成這種測(cè)量單元的核心器件，它具有體積小、重量輕、成本低、動(dòng)態(tài)特性好、可靠性高等獨(dú)特優(yōu)點(diǎn)，有著廣闊的應(yīng)用前景。
　　 本文介紹了以我們自行設(shè)計(jì)的一種硅微型兩自由度陀螺儀為研究對(duì)象的，利用以DSP為核心的數(shù)字線路結(jié)合模擬線路來(lái)實(shí)現(xiàn)整個(gè)測(cè)控系統(tǒng)的完整方案，主要研究?jī)?nèi)容包括以下幾

2、個(gè)方面：
　　 1.分析了硅微型兩自由度陀螺儀的動(dòng)力學(xué)特性，概括了陀螺儀驅(qū)動(dòng)和敏感規(guī)律。
　　 2.結(jié)合兩自由度硅微陀螺儀的特點(diǎn)，在驅(qū)動(dòng)上討論了公共極板輸入法的驅(qū)動(dòng)方式，在檢測(cè)上利用敏感模態(tài)二倍頻的方式來(lái)進(jìn)行敏感信號(hào)的檢測(cè)，另外結(jié)合高速數(shù)字線路板的設(shè)計(jì)技術(shù)設(shè)計(jì)出了以DSP為核心的數(shù)字線路。
　　 3.討論了硅微陀螺儀驅(qū)動(dòng)和檢測(cè)的數(shù)字實(shí)現(xiàn)方法，利用DDS的原理通過(guò)DSP的PWM來(lái)產(chǎn)生硅微陀螺所需的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，并且研究