旋轉(zhuǎn)對稱結(jié)構(gòu)微型殼體振動陀螺諧振結(jié)構(gòu)加工工藝研究.pdf

1、旋轉(zhuǎn)對稱結(jié)構(gòu)微型殼體振動陀螺具有精度高，帶寬寬，動態(tài)范圍大，品質(zhì)因數(shù)高以及抗干擾等潛在優(yōu)異的性能，引起了國內(nèi)外學(xué)者廣泛的研究興趣。目前，國內(nèi)相關(guān)方面的研究還比較少，與國外差距比較大。微型殼體振動陀螺制造的核心仍是諧振結(jié)構(gòu)加工工藝問題，加工工藝的難易制約著微型殼體振動陀螺的發(fā)展。本文主要圍繞著微型殼體振動陀螺諧振結(jié)構(gòu)的加工工藝問題，研究了不同材料的微型殼體振動陀螺諧振結(jié)構(gòu)的加工工藝，旨在探索出一種加工相對簡單、工藝一致性較好的微型殼體振動

2、陀螺加工工藝。本文主要從以下幾個方面開展研究工作：
　　1．介紹了微型殼體振動陀螺的主要結(jié)構(gòu)形式和工作原理，并理論分析了基于靜電驅(qū)動和電容檢測的微型殼體振動陀螺的固有振型。
　　2．分析了激光刻蝕技術(shù)的基本原理，研究了激光加工參數(shù)對單晶金剛石刻蝕質(zhì)量的影響。基于激光刻蝕工藝，實現(xiàn)了單晶金剛石的微型殼體振動陀螺微杯形諧振結(jié)構(gòu)的加工并分析了激光刻蝕加工諧振結(jié)構(gòu)的技術(shù)特點。
　　3．闡述了硅各向同性濕法腐蝕的基本原理，實現(xiàn)了