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文檔簡介
1、大連理工大學碩士學位論文共面介質阻擋放電應用于薄膜制備的研究姓名:吳慶浩申請學位級別:碩士專業(yè):物理化學指導教師:朱愛民20070601共面介質阻擋放電應用于薄膜制備的研究StudyonCoplanarBarrierDischargeandItsApplicationtoFabricatingThinFilmsAbstraotCoplanardischarge,whichmaygeneratestablethinlayerplasmap
2、laysimportantrolesinHgfreelightrCsoBrCc,surfacetreatmentsandplasmaenhancedchemicalvapordeposition(PECVD),andSOOILAimingatapplyingthecoplanardiSchargetofabricatingthinfilmeoplanardischargereactorswercdesignedandinvestigat
3、edinthispapernleeoplanardischargereactorfabricatedinthispaperprovidesalowoostapproachforatmosphericpressureplasmaCVDwithstableanduniformdischargeandshowspromisingapplicationsWi也thehomemadecoplanardischargereactortheautho
4、rexploredthefabricationTi02thinfilmbyplasmaCVDTheprimaryresultsshowthatbecauseofthelowsaturatepressureoftetraisopropyltitanate(TIPT)atroomtemperature,itisdifficulttodepositlargeareauniformTi02thinfilmusingthepresentexper
5、imentsempHowevertheas—depositedTi02thinfilmsusingTiCkasTi群結ourceandthepresentexperimentsetuparehighlycrystallizationandshowgoodphotoeatalyticaetivilyWiththeselfmadecoplanardischargereactortheauthoralSOfabricatedsuccessfo
6、llyCFxthinfilmatatmosphericpressureandroomtemperaturenleCFxthinfilmsshowauniformandnanoporousstructurefromSEMobservationsXPSresultsindicatethatthequaternarycarbonatomsarethemainfunctionalgroupinthesurfaceofthefilmnlchydr
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