2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、隨著近代光學(xué)尤其是二元光學(xué)的迅速發(fā)展,光學(xué)元件及光學(xué)儀器都發(fā)生了非常深刻而巨大的變化。光學(xué)元件開(kāi)始向多臺(tái)階方向發(fā)展。近年來(lái)研制的新型光學(xué)元件—衍射光學(xué)元件也越來(lái)越廣泛地應(yīng)用在各種光學(xué)儀器中,使光學(xué)儀器及其零部件更加小型化、陣列化和集成化。
  本文提出利用有掩模套刻技術(shù)及注射成型的方法來(lái)制作衍射光學(xué)元件。目的是尋找到一套有效的制作工藝,使衍射光學(xué)元件的制作在小型化、陣列化的基礎(chǔ)上,朝著快速化、批量化、低成本化的方向發(fā)展。
 

2、 首先利用ATUOCAD制圖軟件制作出二元光柵、菲涅耳波帶片等一些基本衍射光學(xué)元件的掩模圖,將這些圖片導(dǎo)入計(jì)算機(jī),在鉻板上制作出光刻掩模版。然后將鉻掩模版應(yīng)用于接觸式光刻系統(tǒng)中,利用套刻技術(shù)在涂有正性光刻膠的鎳基合金基片上制作出衍射光學(xué)元件陣列,再采用電化學(xué)刻蝕對(duì)鎳基合金基片進(jìn)行刻蝕,使光刻膠上的圖案轉(zhuǎn)印至鎳基合金基片上。在兩次套刻及刻蝕后即完成了母版芯模的制作。
  復(fù)制母版是主要是采用注塑成型的方法,也嘗試了經(jīng)過(guò)改進(jìn)的熱壓方法

3、。注射模具的設(shè)計(jì)及制作是采用注射成型的方法完成復(fù)制的關(guān)鍵。利用ATUOCAD制圖軟件設(shè)計(jì)出用于復(fù)制陣列圖和單個(gè)菲涅耳元件的模具圖,制作出相應(yīng)的模具,將鎳基合金基片上的衍射光學(xué)元件陣列轉(zhuǎn)印至光學(xué)塑料上。本文設(shè)計(jì)的注塑模具的主要優(yōu)點(diǎn)在于有利于更換芯模,在保證芯模外型尺寸相同的情況下,同一個(gè)模具,換上刻有不同圖案的芯模就可制作出各種圖案的微光學(xué)元件。
  在光學(xué)塑料的選材上,選擇用聚碳酸酯(PC)和有機(jī)玻璃(PMMA)。PC和PMMA都

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