微小零件平面度精密測量關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、對于某些微小零件如靜壓導(dǎo)軌中氣浮元器件、半導(dǎo)體晶圓等，都具有平面度精度高、平面尺寸小的特點。當(dāng)零件的尺寸較小且平面度優(yōu)于0.5微米時，常規(guī)的平晶難以進(jìn)行定量檢測。納米三坐標(biāo)測量機(jī)、三維輪廓儀等精密測量儀器可以滿足微小零件平面度的測量要求，但由于其價格昂貴，對環(huán)境要求高，難以工程應(yīng)用。因此，有必要探索一種便于應(yīng)用、成本合理的微小零件平面度的精密測量方法。
　　本文基于柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的優(yōu)良導(dǎo)向特性，提出了微小零件平面度測量裝置的系統(tǒng)方案

2、。該方案由二維共面雙復(fù)合柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)作為系統(tǒng)的掃描運動平臺，采用一維平行四邊形柔性導(dǎo)軌與LVDT傳感器相結(jié)合作為測頭，構(gòu)成平面度精密測量系統(tǒng)?；谀芰渴睾阍矸治隽穗p復(fù)合柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的靜力學(xué)特性，采用有限元方法數(shù)值計算了柔性導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)不對稱、載荷不對稱對其導(dǎo)向精度的影響，驗證了雙復(fù)合柔性導(dǎo)軌導(dǎo)向精度的健壯性。完成了微小平面測量系統(tǒng)的設(shè)計、加工和試驗，分析了系統(tǒng)測量不確定度。
　　采用標(biāo)準(zhǔn)平晶作為平面基準(zhǔn)進(jìn)行了初步測試，在20mm×2