高壓脈沖電暈放電N-,2-、N-,2-+O-,2-等離子體的分子束質(zhì)譜診斷研究.pdf

1、大連理工大學(xué)碩士學(xué)位論文高壓脈沖電暈放電N、N+O等離子體的分子束質(zhì)譜診斷研究姓名：唐書凱申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：應(yīng)用化學(xué)指導(dǎo)教師：楊學(xué)鋒20000601一 壘! 坐型 一一————_ ———————————_ ———一————————————、——————————————一A b s t r a c tP o s i t i v ei o n sf r o m t h en e a r —c a t h o d er e g i o

2、ni nw i r e —p l a t eh i 曲一v o l t a g ep u l s e d c o r o n ad i s c h a r g e i n d u c e dN 2a n dN 2 。0 2 p l a s m aw e r e c h a r a c t e r i z e d u s i n g a m o l e c u l a rb e a mm a s s s p e c t r o m e t

3、 e rf M B M S ) u n d e rs e v e r e e l e c t r o m a g n e t i c i n t e r f e r e n c e ．T h ee x p e r i m e n t a lr e s u l t ss h o w t h a t ，1 ) t h ee l e c t r o m a g n e t i ci n t e r f e r e n c ec a u s e

4、 db yh i g h - v o l t a g ep u l s e d ( i nn a n o s e c o n ds c a l e ) d i s c h a r g ec a n b ed i s m i s s e db yi m p r o v i n g t h eg r o u n d i n g a n d s h i e l d i n go f t h ei n s t r u m e n t ，a n

5、dt h es i g n a l —t o —n o i s er a t i oc a nb ee n h a n c e dt h r o u g hs i g n a l a c c u m u l a t i o nu s i n g ad i g i t a l o s c i l l o s c o p e ．2 、i nt h eh i g hv o l t a g ep u l s e d c o r o n aN 2

6、p l a s m a ，t h e N + c u r r e n ti s 2 - 8 t i m e sg r e a t e rt h a nt h a to f N 2 + a tN 2p r e s s u r eo f ( 5 —2 5 ) ×1 3 3 P a ，p e a kv o l t a g eo f4 - 1 0 k Va n dr e p e t i t i o nr a t eo f10 —7 0

7、 H z ．T h en i t r o g e ni o ns i g n a l sr i s ew i t hi n c r e a s i n gp e a k v o l t a g ea n d r e p e t i t i o n r a t eo fp u l s e dd i s c h a r g e ，b u te x h i b i t a c l e a rp e a ko v e rt h eN 2p r

8、e s s u r er a n g es t u d i e d ．3 ) i nt h eh i g hv o l t a g e p u l s e dc o r o n aN 2 十0 2 p l a s m a ，t h eN + c u r r e n t i s 1 —1 0t i m e sg r e a t e rt h a n t h a to f N + o r O + ，t h eN 2 +c u r r e n

9、 ti sa p p r o x i m a t e l ye q u a lt ot h a to f ∥a t m i x e dg a s ( 2 0 ％0 2a n d8 0 ％N 2 ) p r e s s u r eo f ( 5 —2 5 ) ×1 3 3 P a ，p e a k v o l t a g eo f 4 —1 0 k Va n dr e p e t i t i o nr a t eo f10 -

10、10 0 H z ．T h eN + ，N 2 + a n dO + s i g n a l sr i s ew i t h i n c r e a s i n g p e a k v o l t a g e a n d r e p e t i t i o n r a t e o f p u l s e dd i s c h a r g e ，a l s o s h o wac l e a rp e a ko v e rt h em i

11、 x e dg a sp r e s s u r er a n g es t u d i e d ．Ak i n e t i cs i m u l a t i o no f Ⅳa n d N 2 + c r e a t e db yt h eh i g h v o l t a g e p u l s e d c o r o n a i n N 2 p l a s m a i s p r e s e n t e d 。G o o da g

12、 r e e m e n t e x i s t s b e t w e e n t h e r e s u l t s o f s i m u l a t i o n s a n d t h ee x p e r i m e n t a ld a t a ．K e y W o r d s M B M S ，H i g h —v o l t a g e p u l s e d c o r o n a d i s c h a r g e