陶瓷壓阻式壓力傳感器的研究及應(yīng)用.pdf

1、西安電子科技大學(xué)學(xué)位論文獨(dú)創(chuàng)性(或創(chuàng)新性)聲明秉承學(xué)校嚴(yán)謹(jǐn)?shù)膶W(xué)風(fēng)和優(yōu)良的科學(xué)道德，本人聲明所呈交的論文是我個(gè)人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進(jìn)行的研究工作及取得的研究成果。盡我所知，除了文中特別加以標(biāo)注和致謝中所羅列的內(nèi)容以外，論文中不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果；也不包含為獲得西安電子科技大學(xué)或其它教育機(jī)構(gòu)的學(xué)位或證書而使用過的材料。與我一同工作的同志對(duì)本研究所做的任何貢獻(xiàn)均已在論文中做了明確的說明并表示了謝意。申請(qǐng)學(xué)位論文與資料若有不實(shí)之處，

2、本人承擔(dān)一切的法律責(zé)任。本人簽名：a蠡疊麴西安電子科技大學(xué)關(guān)于論文使用授權(quán)的說明本人完全了解西安電子科技大學(xué)有關(guān)保留和使用學(xué)位論文的規(guī)定，即：研究生在校攻讀學(xué)位期問論文工作的知識(shí)產(chǎn)權(quán)單位屬西安電子科技大學(xué)。學(xué)校有權(quán)保留送交論文的復(fù)印件，允許查閱和借閱論文；學(xué)?？梢怨颊撐牡娜炕虿糠謨?nèi)容，可以允許采用影印、縮印或其它復(fù)制手段保存論文。同時(shí)本人保證，畢業(yè)后結(jié)合學(xué)位論文研究課題再撰寫的文章一律署名單位為西安電子科技大學(xué)。(保密的論文在解密后

3、遵守此規(guī)定)本學(xué)位論文屬于保密，在年解密后適用本授權(quán)書。本人簽名：粒裊導(dǎo)師簽名：AbstractThesensortechn0109YhasbecomeoneofthethreemainstayOfelectron—informationtechnology，togetherwithcomputertechnologyandcommunicationtechnologyasarapidprogressingfieldThesensort

4、echnologyhasbeenattachedmuchimportancetofroma11overtheworldforitsthekeYandbaseofsignaldetectionandinfolrmationacquisitionTheresearchonnewtypesofsensitivematerialandsensorhasbecomethehotpotandthefront—edgeCeramicthickfilm

5、pressuresensorisanewtypeofstraingaugepressuresensorwhichmakesuseofthethickfilmresistanceandpressuresensitiveeffectThestrainresistancewithpiezoresistivethickfilmrutheniurnbasedresistorpastersandprintedandsinteredonceramic

6、elasticelementthroughthickfilmtechnologyrealizethe●pressuredetectionThisarticlestudiesthebasiccharacteristicsofsensorthickfilmtechnologysystematictheoriesofthickfilmpressuresensorandtheapplicationofpressuremeasureItstate

7、sthebasictheoryofceramichybridpressuresensorandproposeflowanalyzesthetechnicaldifficultiesofexistingproducts，andproposethedesignplanofintegratedceramicthickfilmpressuresensorThisarticlemainlysummarizedaSfollows：1ThisPaDe

8、rpresentstheintegratedceramicelasticfilmandnewthickfilmscreenprintdesignscheme，optimizesthekeytechnologytache，changesthetrimmingpatternofthickfilmresistors，andproducesthesensors2Improvedschemesolvesthefollowingtechnicald

9、ifficulties：crackofcircumferencebetweenthecircularceramicbaseandceramicelasticfilmwhicharestickedtogether；unbalancedWheatstonebridgeinfluencesthezerooutput；analogcircuitCan’tsarisfythetrendofthemini，intelligent，highpreci