時序彩色LCoS顯示屏制備工藝技術(shù)及測試的研究.pdf

1、硅基液晶顯示器(Liquid Crystal on Silicon，LCoS)結(jié)合了薄膜晶體管液晶顯示(TFT-LCD)的優(yōu)點和CMOS大規(guī)模集成電路成熟的設(shè)計及生產(chǎn)工藝，具有分辨率高、尺寸小、重量輕和功耗低等諸多優(yōu)點，在投影顯示、近目頭盔顯示及3D技術(shù)中都有廣泛的應(yīng)用。高分辨率及快速響應(yīng)的LCoS顯示屏是實現(xiàn)時序驅(qū)動的主要候選器件之一，具有廣闊的應(yīng)用前景。
　　本文針對實現(xiàn)時序彩色顯示的LCoS屏性能要求，對時序彩色LCoS顯示

2、屏的顯示原理和工作模式進行了深入的探討，以優(yōu)化滿足時序驅(qū)動的LCoS工作模式，著重討論了LCoS的垂直取向(VA)模式的工作原理。在此基礎(chǔ)之上，本文利用Techwize液晶軟件對VA-LCoS模擬，確定了滿足時序顯示要求的液晶屏的結(jié)構(gòu)參數(shù)和材料參數(shù)，預(yù)傾角84°～90°，盒厚2～2.5um，液晶材料的介電各向異性△ε=-4.2，光學(xué)各向異性△n=0.08。對于采用MLC6608液晶的LCoS顯示屏的厚度為2.4um，預(yù)傾角為88°。

3、r>　　在LCoS屏結(jié)構(gòu)材料參數(shù)優(yōu)化的基礎(chǔ)上，設(shè)計了LCoS液晶屏，并對LCoS屏的制備工藝流程進行了研究。通過大量實驗，得到了VA模式LCoS顯示屏制備工藝參數(shù)。對制備的液晶屏綁定之后，搭建光路測試系統(tǒng)，連接驅(qū)動電路，測試了液晶屏的性能參數(shù)，包括亮度、對比度、響應(yīng)時間等。制備的VA-LCoS屏的響應(yīng)時間小于6ms，滿足時序驅(qū)動的要求，對比度為53。
　　在探討時序驅(qū)動LCoS工作原理基礎(chǔ)上配置了時序彩色顯示的光學(xué)系統(tǒng)架構(gòu)，為進一