LCoS屏的工藝制備及特性研究.pdf

1、硅上液晶（Liquid Crystal on Silicon，LCoS）顯示技術是一種反射式液晶顯示技術，是CMOS半導體集成電路技術和液晶顯示技術相結合的產(chǎn)物，具有高密度、高分辨率、高開口率、高亮度、輕、薄、成本低等優(yōu)點。LCoS是投影技術和微型顯示系統(tǒng)發(fā)展的重要技術之一，具有廣闊的市場背景。
　　 論文在深入理解 TFT-LCD的工作原理基礎上，對硅基液晶顯示器件的工藝結構、顯示原理和彩色顯示的實現(xiàn)方法進行了深入研究。著重分

2、析了幾種LCoS的顯示模式，并采用Matlab模擬計算各種模式的偏振轉(zhuǎn)換效率（PCE，polarizing conversion efficiency）曲線，通過PCE曲線判斷每種模式能夠達到的最大反射率，以此判斷工作模式的優(yōu)劣，同時也可以確定相應模式下LCOS液晶屏的工藝參數(shù)。
　　 以模擬結果為指導，工藝上流通了LCoS屏的工藝流程，確定了相應的工藝參數(shù)，完成了LCOS液晶樣品屏的制備。并對影響LCoS液晶屏的反射率的主要參

3、數(shù)：盒厚、取向膜厚度及封盒的壓力，進行了重點探討，給出了工藝實驗結果。搭建了測試光路，對制備的不同工作模式的LCoS樣品屏進行了反射率的測量，測試了光電特性曲線，對結果進行了分析與比較，并針對不同工作模式的缺陷，提出了進一步改進的建議。
　　 總之，本文以LCoS顯示屏為研究對象，研究了其工作機理和顯示方式；通過模擬計算分析了影響反射率的工藝參數(shù)；以理論計算為指導，流通了工藝制備流程，完成了LCoS液晶盒的制備；通過搭建的實驗平