激光微加工驅(qū)動(dòng)器設(shè)計(jì)與研究.pdf

1、激光微加工是精密、超精密加工不容忽視的一部分，目前廣泛應(yīng)用于眾多的高端激光微加工領(lǐng)域，如半導(dǎo)體工業(yè)、LED加工、太陽(yáng)能電池、觸摸屏制造、醫(yī)療器械、玻璃、陶瓷加工以及其它各種特殊加工領(lǐng)域。本文是根據(jù)超磁致伸縮材料的特點(diǎn)，結(jié)合國(guó)內(nèi)外對(duì)其研究，在以往GMA的基礎(chǔ)上，克服他們的不足，通過(guò)綜合優(yōu)化設(shè)計(jì)、性能分析、控制研究等各方面的完善，設(shè)計(jì)出一種尺寸小、能量密度高、響應(yīng)速度快適應(yīng)于激光微加工及精密、超精密加工領(lǐng)域的微加工驅(qū)動(dòng)器。
　　首先，

2、闡述了激光微加工驅(qū)動(dòng)器在國(guó)內(nèi)外的研究現(xiàn)狀及應(yīng)用前景。介紹GMM材料的發(fā)展歷程、物理特性、性能優(yōu)勢(shì)以及國(guó)內(nèi)外對(duì)其的研究與應(yīng)用。
　　其次，介紹驅(qū)動(dòng)器整體結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)及工作原理:主要包括磁路及線圈的設(shè)計(jì)，冷卻系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計(jì)和彈簧板的設(shè)計(jì)，并通過(guò)實(shí)驗(yàn)加ANSYS分析優(yōu)化;仿真分析預(yù)壓力、滯回現(xiàn)象、溫度等對(duì)驅(qū)動(dòng)器性能的影響，以使?jié)M足驅(qū)動(dòng)器的性能要求。
　　然后，基于電流模型建立了恒流源在內(nèi)的激光微加工驅(qū)動(dòng)器線性化動(dòng)態(tài)模型，針對(duì)驅(qū)動(dòng)器系