溶膠凝膠法制備熱致變色VO2薄膜的研究.pdf

1、二氧化釩(VO2)作為一種熱致相變材料，是目前相變金屬化合物中研究的熱點(diǎn)材料。當(dāng)溫度變化時(shí)，能夠發(fā)生金屬相與半導(dǎo)體相的可逆轉(zhuǎn)變，同時(shí)，伴隨著光、電、磁等物理性質(zhì)的突變。由于其相變溫度為68℃，相對(duì)來(lái)說(shuō)比較低，并且可以通過(guò)摻雜的方法來(lái)降低，這為其廣泛的應(yīng)用奠定了基礎(chǔ)，尤其是為在“智能窗”方面的應(yīng)用提供了可能性。
　　以乙酰丙酮氧釩為前驅(qū)體，甲醇為溶劑，采用溶膠凝膠法和旋涂鍍膜法制備出了鈮摻雜及未摻雜的VO2薄膜。同時(shí)使用XRD、SE

2、M、DSC及XPS等手段對(duì)VO2薄膜進(jìn)行了分析。除此之外，使用四位探針?lè)ê妥贤?可見(jiàn)光-近紅外分光光度計(jì)對(duì)VO2的光學(xué)性能、電學(xué)性能也進(jìn)行了初步的研究，同時(shí)探討了鈮摻雜對(duì)其相變溫度的影響。主要結(jié)果如下:
　　(1)研究了襯底材料對(duì)薄膜的組織和電學(xué)性能的影響。在石英玻璃、普通云母和玻璃上都可以制備出VO2(M)相薄膜。當(dāng)其他條件相同時(shí)，在這三種襯底上制備的VO2(M)相都有相變特性。其中，石英玻璃上薄膜的電阻率突變量最大可達(dá)3個(gè)數(shù)量