PSD綜合性能檢測(cè)系統(tǒng)的研制.pdf

1、位置敏感探測(cè)器(PSD)是一種基于半導(dǎo)體橫向光電效應(yīng)的光電子器件。由于它具有位置分辨率高，響應(yīng)速度快，不需要掃描，處理電路簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)，適用于位置、距離、位移、角度及其它相關(guān)物理量的測(cè)量，因而在工業(yè)檢測(cè)和監(jiān)控、航空對(duì)接、機(jī)器人傳感等領(lǐng)域獲得了越來(lái)越廣泛的應(yīng)用。
　　 本文首先介紹了PSD的分類及國(guó)內(nèi)外對(duì)PSD的研究發(fā)展現(xiàn)狀及成果，針對(duì)目前測(cè)量PSD的性能參數(shù)單一性的缺點(diǎn)，提出了一種檢測(cè)PSD性能指標(biāo)的實(shí)驗(yàn)方法，能夠同時(shí)測(cè)量PSD的

2、位置靈敏度、位置線性度、響應(yīng)靈敏度、光譜響應(yīng)、時(shí)間響應(yīng)、暗電流等參數(shù)。
　　 然后，分析了PSD的位敏原理，對(duì)PSD的待測(cè)參數(shù)進(jìn)行了簡(jiǎn)要分析，對(duì)每項(xiàng)參數(shù)的理論指標(biāo)進(jìn)行了討論。
　　 在確定PSD的待測(cè)參數(shù)后，接下來(lái)詳細(xì)討論了如何搭建實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。本文先后從儀器選取、電路設(shè)計(jì)、程序編寫(xiě)等方面入手，將實(shí)驗(yàn)平臺(tái)逐層細(xì)分，逐個(gè)解決。
　　 在本實(shí)驗(yàn)平臺(tái)中，光源、單色儀、步進(jìn)電機(jī)和數(shù)據(jù)采集卡都是購(gòu)買廠家產(chǎn)品，有些還進(jìn)行二次開(kāi)發(fā)

3、。使用廠家成熟的產(chǎn)品，有助于提高實(shí)驗(yàn)結(jié)果的精度和降低實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的復(fù)雜程度。
　　 對(duì)于實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的電路設(shè)計(jì)，本文采取模塊化分析的方法，并用Proteus對(duì)部分電路模塊進(jìn)行了仿真，減少了實(shí)驗(yàn)開(kāi)發(fā)中的誤區(qū)，加快了實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的開(kāi)發(fā)進(jìn)度。
　　 實(shí)驗(yàn)平臺(tái)使用MCS-51單片機(jī)作為控制電路核心。單片機(jī)程序的編寫(xiě)也是采取模塊化分析，將程序分成幾個(gè)部分，逐一討論后，再提出程序的整體設(shè)計(jì)方案，采用自下往上的程序設(shè)計(jì)理念。
　　 在實(shí)驗(yàn)