2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、ArF激光器是光刻機(jī)整機(jī)產(chǎn)品的核心部件，為光刻機(jī)提供曝光所需的光源，脈沖波長(zhǎng)和線(xiàn)寬是ArF激光器的兩個(gè)關(guān)鍵指標(biāo)。本文面向國(guó)產(chǎn)193nmArF激光器需求，研究激光器的激光線(xiàn)寬在線(xiàn)檢測(cè)技術(shù)，并完成相應(yīng)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的研發(fā)。本文主要內(nèi)容如下：
　　分析了ArF激光器對(duì)激光線(xiàn)寬測(cè)量的功能、性能需求和接口約束，確定數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)需在內(nèi)、外觸發(fā)兩種工作模式下切換的功能，并且能夠根據(jù)激光器的頻率自由設(shè)定數(shù)據(jù)采集的頻率和積分時(shí)間。根據(jù)光譜算法實(shí)現(xiàn)方法

2、的不同，本文采用了基于以太網(wǎng)的單板集成實(shí)現(xiàn)方案。不僅功能集中且方便調(diào)試。
　　針對(duì)ArF激光波長(zhǎng)選擇合適的光譜測(cè)量線(xiàn)陣CCD器件，并分析了CCD的工作原理和工作時(shí)序。針對(duì)傳感器設(shè)計(jì)了差分放大電路，能夠有效去除CCD暗電流噪聲。硬件采用以太網(wǎng)接口和FPGA中RAM作為緩沖存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)光譜數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)傳輸。
　　詳細(xì)分析了軟件的工作流程和數(shù)據(jù)流，將嵌入式軟件劃分為驅(qū)動(dòng)模塊、以太網(wǎng)模塊、FIFO緩存模塊等。系統(tǒng)采用Verilog

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