基于FPGA的線陣CCD傳感器數據采集系統設計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、ArF激光器是光刻機整機產品的核心部件，為光刻機提供曝光所需的光源，脈沖波長和線寬是ArF激光器的兩個關鍵指標。本文面向國產193nmArF激光器需求，研究激光器的激光線寬在線檢測技術，并完成相應數據采集系統的研發(fā)。本文主要內容如下：
　　分析了ArF激光器對激光線寬測量的功能、性能需求和接口約束，確定數據采集系統需在內、外觸發(fā)兩種工作模式下切換的功能，并且能夠根據激光器的頻率自由設定數據采集的頻率和積分時間。根據光譜算法實現方法

2、的不同，本文采用了基于以太網的單板集成實現方案。不僅功能集中且方便調試。
　　針對ArF激光波長選擇合適的光譜測量線陣CCD器件，并分析了CCD的工作原理和工作時序。針對傳感器設計了差分放大電路，能夠有效去除CCD暗電流噪聲。硬件采用以太網接口和FPGA中RAM作為緩沖存儲結構，實現光譜數據的實時傳輸。
　　詳細分析了軟件的工作流程和數據流，將嵌入式軟件劃分為驅動模塊、以太網模塊、FIFO緩存模塊等。系統采用Verilog

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