納米球光刻及熱CVD生長碳納米管的研究.pdf

1、本論文由兩部分構(gòu)成：納米球光刻和碳納米管熱化學(xué)氣相沉積的研究
　　本論文第一部分是基于納米球光刻技術(shù)，針對以往納米微孔陣列的制備問題，旨在制備出高度有序、緊密壓縮的納米微球模板。自組裝模板的制備是納米球光刻技術(shù)的基礎(chǔ)，同時(shí)也是制備出的金屬微柵的質(zhì)量優(yōu)劣的關(guān)鍵。本論文的核心工作即制備出大面積的單層納米微球模板。本文綜合考慮各種自組裝方法的特點(diǎn)，在拉膜法的基礎(chǔ)上進(jìn)行了改進(jìn)，利用聚苯乙烯乳膠球制備出了高度有序、緊密排列的周期性的單層模板

2、。本文對影響模板質(zhì)量的這幾種因素分別進(jìn)行了分析討論，為制備更高水平的單層聚苯乙烯模板提供了依據(jù)。
　　論文的第二部分主要研究了碳納米管的熱化學(xué)氣相沉積法生長條件，從生長機(jī)理、制備工藝和測試表征等方面進(jìn)行各種對比分析和實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)最終利用乙醇作為碳源熱化學(xué)沉積法在800℃生長碳納米管，得到的碳管管形結(jié)構(gòu)優(yōu)秀，形貌分布均勻且具備場發(fā)射能力。眾所周知，一般的熱化學(xué)氣相沉積一般使用危險(xiǎn)氣體（乙炔、甲烷等），具有一定的安全隱患。而我們則沒有危