定向碳納米管、摻硼碳納米管的ECR-CVD法制備與表征.pdf

1、分類號(hào)密級(jí)Y816lJB6學(xué)位論文定向碳納米管、摻硼碳納米管的ECRCVD法制備與表征作者姓名至!量指導(dǎo)導(dǎo)師姓名墾筮絲整撞盔韭盤堂壑拭三猩魚魚杰也生瞳申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別譴學(xué)科類別蘭堂學(xué)科專業(yè)名稱速堡墊毯丞墨焦論文提交日期2QQ!生Z旦論文答辯日期學(xué)位授予日期z棚牛彥z7答辯委員會(huì)主席塑魚竺評(píng)閱人閨塞啦!縫蕉逸：鏊墨趔：i!尊東北大學(xué)2004年7月意警聲：導(dǎo)師舟煮匆全文公贏東北大學(xué)博士學(xué)位論文使用原子力顯微鏡(AFM)對(duì)碳納米管的形貌進(jìn)行了觀測(cè)

2、研究。利用EcRcVD技術(shù)，以Fe304納米粒子為催化劑，c№、B2H6和H2為氣源，在多孔硅基底上制備出了摻硼碳納米管。研究了不同B2H托出氣體配比對(duì)碳納米管生長(zhǎng)特性的影響。使用掃描電子顯微鏡(SEM)、透射電子顯微鏡(TEM)和x射線光電子譜(xPs)對(duì)樣品的形貌、結(jié)構(gòu)及組份進(jìn)行表征。結(jié)果表明：B2H6的通入對(duì)納米管的生長(zhǎng)具有較大影響。少量通入，就會(huì)破壞納米管的定向生長(zhǎng)，使納米管變得彎曲；隨著氣氛組成中B2H6比例的增加導(dǎo)致納米管的

3、結(jié)構(gòu)發(fā)生了變化，從中空結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變?yōu)轭愔窆?jié)結(jié)構(gòu)，同時(shí)多壁管外徑增大，管壁增厚，表面變得粗糙，納米管的生長(zhǎng)速度降低；樣品中的B／c原子比隨著B2H6比例的增大而增大。采用cH4／H2和cH4，B2H6／H2兩種氣源在連續(xù)的cVD過程中首次合成了一種新型的納米管異質(zhì)結(jié)構(gòu)，其一端是竹節(jié)狀的摻硼碳納米管結(jié)構(gòu)，另一端是光滑中空管的純碳管結(jié)構(gòu)，并對(duì)其形成機(jī)制進(jìn)行了初步解釋。關(guān)鍵詞：碳納米管，定向生長(zhǎng)，EcR_cvD，摻硼碳納米管，納米管異質(zhì)節(jié)，納米粒予