基于波分復(fù)用的大量程高分辨率光纖位移測(cè)量系統(tǒng).pdf

1、納米測(cè)量技術(shù)是納米科學(xué)技術(shù)的一個(gè)重要分支,隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展,納米技術(shù)涉及到機(jī)械、電子、材料、生物、化學(xué)等越來越廣泛的領(lǐng)域,對(duì)于納米測(cè)量的需求越來越多。并且隨著工業(yè)技術(shù)的需求,如今的納米測(cè)量技術(shù)朝著更高的分辨率,更大的測(cè)量范圍這個(gè)方向發(fā)展。
　　 本文提出了一個(gè)基于波分復(fù)用技術(shù)的光纖干涉位移測(cè)量技術(shù),利用了光纖耦合器、FBG光纖光柵等光學(xué)器件構(gòu)造了一個(gè)基于邁克爾遜干涉儀的光纖干涉儀,同時(shí)利用波分復(fù)用技術(shù)引入了合成波長。通過對(duì)

2、合成波干涉條紋的解調(diào)而使系統(tǒng)的測(cè)量范圍增大,通過對(duì)單波長干涉條紋的解調(diào)而提高系統(tǒng)的分辨率,使系統(tǒng)達(dá)到大量程測(cè)量的同時(shí)得到高分辨率。測(cè)量系統(tǒng)還引入了反饋系統(tǒng),通過反饋回路驅(qū)動(dòng)PZT來控制參考臂長度,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)外部環(huán)境干擾進(jìn)行補(bǔ)償,進(jìn)一步使得測(cè)量系統(tǒng)得到穩(wěn)定,使測(cè)量系統(tǒng)達(dá)到更高的精度。
　　 本論文的主要工作包括:(1)搭建了光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)并進(jìn)行實(shí)驗(yàn),得到了所需要的干涉條紋,證明了此系統(tǒng)的可行性。(2)對(duì)測(cè)量系統(tǒng)加入了反饋系統(tǒng)從而使測(cè)