基于VME的掃描光刻系統(tǒng)嵌入式實(shí)時(shí)軟件設(shè)計(jì).pdf

1、掃描光刻設(shè)備是IC制造業(yè)的核心裝備，其系統(tǒng)的研制與樣機(jī)開(kāi)發(fā)已被列入國(guó)家科技重大專項(xiàng)。掃描光刻系統(tǒng)高精度、高速度運(yùn)動(dòng)控制指標(biāo)的實(shí)現(xiàn)及步驟繁瑣的掃描光刻流程執(zhí)行需要可靠性高、實(shí)時(shí)性優(yōu)良的嵌入式實(shí)時(shí)軟件加以保證。
　　首先，本文對(duì)實(shí)時(shí)控制系統(tǒng)的體系結(jié)構(gòu)和方案進(jìn)行設(shè)計(jì)。本文設(shè)計(jì)了以VME總線為控制核心的方案，以滿足掃描光刻系統(tǒng)多執(zhí)行機(jī)構(gòu)、多傳感器對(duì)大數(shù)據(jù)量傳輸?shù)男枨螅辉O(shè)計(jì)以搭載 VxWorks操作系統(tǒng)的IC-e6-VMEa板卡作為 VME

2、 Master、以FPGA加DSP設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)VME Slaver的實(shí)時(shí)軟件方案，以保證掃描光刻流程的可靠執(zhí)行。
　　之后，本文從VxWorks操作系統(tǒng)的內(nèi)核啟動(dòng)分析著手，明確了板級(jí)支持包的文件組成及其配置方法，針對(duì)IC-e6-VMEa板卡的硬件資源完成VxWorks操作系統(tǒng)移植和END網(wǎng)絡(luò)設(shè)備驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)，并通過(guò)VxWorks Image下載實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了移植開(kāi)發(fā)和驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)的正確性。
　　其次，本文依據(jù)系統(tǒng)需求，確定了以D32數(shù)據(jù)傳輸

3、方案實(shí)現(xiàn)VME總線的通信協(xié)議的方案，并針對(duì)VME D32傳輸協(xié)議設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了VME Slaver的接口邏輯、完成IC-e6-VMEa板卡的VME配置。然后，針對(duì)系統(tǒng)對(duì)實(shí)時(shí)軟件的可靠性、實(shí)時(shí)性需求，合理的劃分任務(wù)以減小任務(wù)間的“耦合”，設(shè)計(jì)高效率任務(wù)調(diào)度方案以提高 CPU資源的利用率，制定合適的任務(wù)間通信方案以實(shí)現(xiàn)任務(wù)的實(shí)時(shí)并發(fā)執(zhí)行，系統(tǒng)的提高了實(shí)時(shí)軟件的可靠性和實(shí)時(shí)性。
　　最后，本文針對(duì)實(shí)時(shí)調(diào)試需求，對(duì)電機(jī)通道進(jìn)行VME地址分配、