基于激光平面干涉儀的平晶面形測量系統(tǒng).pdf

1、在光學冷加工領域，平晶是常用到的計量器具，而平面度是其參數指標中極其重要的一個環(huán)節(jié)。作為測量標準其本身的平面度指標需具備良好的精度。在我國現(xiàn)行的計量領域還主要依靠人工目視測量，采用光圈公差(N)和局部光圈公差(△1N，△2N)來表征。這種測量方式的判讀效率以及結果精度已經遠遠不能滿足經濟社會發(fā)展的速度需求。
　　 本項目是基于PG15-J4型激光干涉儀改造后的平臺完成的。結合了CCD圖像傳感技術以及計算機圖像處理，不僅提高了測量

2、的自動化程度而且也提高了指標精度。論文中首先介紹了平晶的相關理論知識以及光學干涉理論，并介紹了幾種主要的檢定方法，最后確定等厚干涉法為最佳，接著完成了對PG-15J4型激光干涉儀自動判讀改進，包括光源，CCD等關鍵零件的裝配。然后將數字相機采集的圖像進行處理，包括獲取背景，線性對比度展寬，條紋與背景的相減處理，圖像濾波，二值化等等，最終獲得單像素條紋。根據JJG28-2000規(guī)定的判讀法計算出平面度指標。最終的結果通過對比表明符合計量檢