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文檔簡介
1、平面度測量是幾何量計(jì)量中的一項(xiàng)重要組成部分。平晶,作為對平面的平面度、直線度、平行度以及研合性進(jìn)行檢測的基本計(jì)量器具,對其本身平面度的有效精確測量就顯的尤為重要。本文研究對中國計(jì)量科學(xué)院生產(chǎn)的C4-1型等厚干涉儀進(jìn)行修復(fù)以及數(shù)字化改造,對平面平晶以及長平晶平面度進(jìn)行測量。
在論文中,對比介紹了平晶平面度的幾種檢定方法,并且通過理論和實(shí)踐對等厚干涉儀測量平晶平面度的方法進(jìn)行了分析研究。首先對C4-1型干涉儀進(jìn)行了結(jié)構(gòu)及光路的
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