基于激光平面干涉儀的平晶面形測(cè)量系統(tǒng).pdf

1、在光學(xué)冷加工領(lǐng)域，平晶是常用到的計(jì)量器具，而平面度是其參數(shù)指標(biāo)中極其重要的一個(gè)環(huán)節(jié)。作為測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)其本身的平面度指標(biāo)需具備良好的精度。在我國(guó)現(xiàn)行的計(jì)量領(lǐng)域還主要依靠人工目視測(cè)量，采用光圈公差(N)和局部光圈公差(△1N，△2N)來(lái)表征。這種測(cè)量方式的判讀效率以及結(jié)果精度已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿(mǎn)足經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展的速度需求。
　　 本項(xiàng)目是基于PG15-J4型激光干涉儀改造后的平臺(tái)完成的。結(jié)合了CCD圖像傳感技術(shù)以及計(jì)算機(jī)圖像處理，不僅提高了測(cè)量

2、的自動(dòng)化程度而且也提高了指標(biāo)精度。論文中首先介紹了平晶的相關(guān)理論知識(shí)以及光學(xué)干涉理論，并介紹了幾種主要的檢定方法，最后確定等厚干涉法為最佳，接著完成了對(duì)PG-15J4型激光干涉儀自動(dòng)判讀改進(jìn)，包括光源，CCD等關(guān)鍵零件的裝配。然后將數(shù)字相機(jī)采集的圖像進(jìn)行處理，包括獲取背景，線(xiàn)性對(duì)比度展寬，條紋與背景的相減處理，圖像濾波，二值化等等，最終獲得單像素條紋。根據(jù)JJG28-2000規(guī)定的判讀法計(jì)算出平面度指標(biāo)。最終的結(jié)果通過(guò)對(duì)比表明符合計(jì)量檢