一種基于液面基準(zhǔn)的大平面平面度測(cè)量方法的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、現(xiàn)代制造業(yè)對(duì)加工精度的要求日益提高，測(cè)量精度是影響加工精度的一個(gè)關(guān)鍵。平面度誤差是形貌誤差的一個(gè)重要的評(píng)定指標(biāo)，在一些條件下，對(duì)工件的精度具有絕對(duì)的影響。目前，小平面平面度的高精度測(cè)量已經(jīng)完善，其主要方法是光干涉法。大平面平面度的測(cè)量方法很多，主要有水平儀法、自準(zhǔn)直儀法、光軸法、液面法、多測(cè)頭誤差分離法、表橋法及跨步儀等方法，其中能達(dá)到高精度方法并不多，因此，本文提出了一種新的基于液面法的高精度大平面平面度測(cè)量方法。
　　 與基

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