納米級(jí)六自由度微動(dòng)工作臺(tái)超精定位控制方法的研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩75頁未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、納米級(jí)定位控制系統(tǒng)中驅(qū)動(dòng)元件的選擇和使用直接影響著控制系統(tǒng)的最終性能指標(biāo).壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器以其體積小,重量輕,精度和位移分辨率高等優(yōu)點(diǎn)成為目前最有前途的驅(qū)動(dòng)器件之一.但是,壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器所固有的遲滯、蠕變等特性制約著該種器件的發(fā)展.該研究選用了性能穩(wěn)定的硬性鎢青銅型壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器作為驅(qū)動(dòng)元件,從壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器遲滯產(chǎn)生的微觀機(jī)理入手,通過對(duì)比硬性鎢青銅型壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器和軟性鈣鈦礦型壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的晶體結(jié)構(gòu),研制出壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器抗遲滯驅(qū)動(dòng)方法

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論