2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、超薄膜生長描述的是薄膜生長初期膜層的形成過程,在該過程中的粒子動力學(xué)行為以及膜層的微觀結(jié)構(gòu)演化對于薄膜后期的結(jié)構(gòu)與性質(zhì)有著很大的影響?;谟嬎銠C技術(shù)的動力學(xué)蒙特卡羅模擬可以深入了解表面粒子的吸附、擴(kuò)散、成核及再蒸發(fā)過程,為優(yōu)化實驗制備工藝、改善薄膜質(zhì)量、補充相關(guān)理論等提供了可靠依據(jù),因而在薄膜科學(xué)領(lǐng)域具有十分重要的研究意義。
   基于薄膜生長理論,本論文首先建立了超薄膜生長的晶格-動力學(xué)蒙特卡羅模型,研究了單晶Si在Si(11

2、1)面上的生長初期的動力學(xué)過程,討論了不同基底溫度、沉積時間等條件下,吸附粒子的表面擴(kuò)散過程對于薄膜表面形貌的影響。本文的仿真結(jié)果與已有的相關(guān)理論基本符合,證明了模型的合理性。
   本論文通過改進(jìn)表面生長的晶格模型來建立超薄膜生長的準(zhǔn)連續(xù)-動力學(xué)蒙特卡羅模型,并研究了采用電子束蒸發(fā)技術(shù)在非晶SiO2基底上制備多晶硅薄膜的初期動力學(xué)過程。本文發(fā)現(xiàn)薄膜結(jié)晶度隨基底溫度的變化的曲線變化率出現(xiàn)了拐點,而且拐點處的制備溫度使得多晶硅的平

3、均晶粒尺寸發(fā)生突變,本文將這個特殊的溫度點稱為轉(zhuǎn)變溫度Tt(Transition temperature)。文中研究了沉積速率、基底材料性質(zhì)對于轉(zhuǎn)變溫度的影響,通過仿真預(yù)測相關(guān)的工藝參數(shù)使轉(zhuǎn)變溫度往低溫區(qū)轉(zhuǎn)移,從而可以在更低的溫度下采用電子束蒸發(fā)法多晶硅薄膜的制備并滿足工業(yè)上的需求。
   為了提高計算機執(zhí)行效率,本論文研究了粒子-概率、粒子-密度和首通動力學(xué)蒙特卡羅算法的基本思想,探討了這些混合動力學(xué)蒙特卡羅算法在薄膜生長中的

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