復(fù)雜回轉(zhuǎn)體三維面形精密測量技術(shù)研究.pdf

1、先進加工和設(shè)計技術(shù)對精密測量技術(shù)提出了越來越高的要求。其測量范圍不斷擴大，而測量精度不斷提高。隨著復(fù)雜回轉(zhuǎn)光學(xué)元件在尖端設(shè)備中的不斷出現(xiàn)，迫切需要發(fā)展高精度三維輪廓測量儀器。
　　本文研制了一臺精密輪廓回轉(zhuǎn)測量裝置。為獲得更高精度的三維輪廓旋轉(zhuǎn)測量系統(tǒng)，誤差分離至關(guān)重要。分析并分離了測量系統(tǒng)的隨機誤差和系統(tǒng)誤差。在測量系統(tǒng)中，由探頭傾斜引起的側(cè)翻和俯仰運動違反了阿貝原則。側(cè)翻運動通過雙探頭分離，俯仰運動通過自準直儀法分離。徑向跳動

2、和垂直度誤差通過雙探頭兩步法使用標準半球分離。由于半球的面型誤差和探頭垂直度誤差混合在一起，故使用最小二乘法擬合標準半球并計算出垂直度誤差和半球的輪廓誤差。同時用Matlab程序進行數(shù)值擬合驗證以上方法的有效性和正確性。對標準半球進行測量，運用誤差分離技術(shù)完成數(shù)據(jù)處理。
　　不確定評定是為了給測量結(jié)果的變動范圍設(shè)定一個合理的界限，對精密測量系統(tǒng)的性能評價十分重要。本文分析了主要誤差源的分布情況，多次試驗Metropolis算法因其