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文檔簡介
1、自上個世紀60年代圖像傳感器問世以來,圖像傳感器便得到了廣泛的應用,比如數(shù)碼相機,安防及監(jiān)控設備,手機,視頻攝像機,醫(yī)療系統(tǒng),機器視覺,傳感器,電腦攝像頭,游戲設備等都離不開圖像傳感器,可以說圖像傳感器已經深入的滲透到我們生活的每個角落。CMOS(互補金屬氧化物半導體)圖像傳感器與CCD(電荷耦合器件)圖像傳感器的研究幾乎是同時起步,但由于受當時半導體制造工藝水平的限制, CMOS圖像傳感器圖像質量差、分辨率低、噪聲高和光照靈敏度不夠,
2、因而沒有得到重視和發(fā)展。上世紀90年代初,隨著大規(guī)模集成電路設計技術和工藝制造水平的不斷提高,CMOS圖像傳感器過去存在的缺點現(xiàn)在都可以找到辦法克服,而且它固有的優(yōu)點更是CCD器件所無法比擬的,因而它再次成為研究的熱點。
本文首先對CMOS圖像傳感器的發(fā)展歷史、工作原理、應用、工藝特點及發(fā)展趨勢進行了研究,并對半導體芯片產業(yè)中用到的先進失效分析技術手段、方法的原理和應用進行了綜述,如光學顯微鏡、掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、
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