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文檔簡介
1、該文用射頻濺射、脈沖激光沉積和溶膠—凝膠三種方法制備Ba<,2>TiSi<,2>O<,8>薄膜,并對樣品性質(zhì)進(jìn)行研究.1.用射頻磁控濺射法可以在Si(100)襯底上制備Ba<,2>TiSi<,2>O<,8>薄膜.通過對氣壓的控制可以得到不同的膜厚,并且有助于控制薄膜中多元成分的組成.磁控濺射所制得Ba<,2>TiSi<,2>O<,8>薄膜的為非晶態(tài),經(jīng)過后續(xù)熱處理使得薄膜結(jié)晶.隨著工作溫度的提高從室溫增加到600℃,薄膜的結(jié)晶性逐漸變化
2、.通過熱處理的溫度和時間控制得到取向良好的薄膜.該文認(rèn)為在磁控濺射法的制備過程中,通過對工作溫度和熱處理溫度的控制可以得到取向明顯的薄膜.2.溶膠—凝膠方法制備出以Si(100)為襯底的Ba<,2>TiSi<,2>O<,8>薄膜.通過對配置膠體的原料,甩膠時間、速度和后續(xù)熱處理溫度和時間的控制,制備出成分均勻,結(jié)構(gòu)有一定取向的薄膜.3.用PLD脈沖激光沉積法制備出以Si(100)為襯底的Ba<,2>TiSi<,2>O<,8>薄膜.通過對
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