提高激光干涉長度測量精度和速度的研究.pdf

1、該文在對激光干涉測量中影響測量精度和測量速度的因素進行詳細分析的基礎上,對聲光調制技術及可調大頻差雙頻激光,空氣折射率的測量與實時補償,激光干涉中的非線性誤差以及幾何結構誤差,適于外差干涉的信號處理電路電路等系列問題進行了深入研究.研制出一種精密高速測量系統(tǒng),為提高測量精度和測量速度、降低儀器成本的綜合性能優(yōu)化提供了方法.針對干涉測量中的焦點問題,該文主要進行了以下創(chuàng)造性工作:該文充分研究和比較了各種不同方法對空氣折射率修正的效果.在此

2、基礎上,對預抽氣干涉式測量空氣折射率的方法和裝置進行了深入研究.利用該方法對空氣的折射率進行測量具有實時性,配合電子計算機的使用,可對測量環(huán)境誤差因素進行實時補償,從而提高了測量精度.研究了提高測量速度的途徑.超聲波使激光的波前發(fā)生畸變,從而限制了測量系統(tǒng)的分辨力.通過理論分析,采用特殊晶體的相位共軛波技術可以補償調制光的波前畸變.研究了單頻式及外差式激光干涉測量中非線性誤差產生的原因,并通過理論推導,給出了這種非線性誤差的大小和性質及