2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、 本論文以微流控集成光波導(dǎo)光開關(guān)為研究對象,從理論與實(shí)際工藝制備等方面對其進(jìn)行探索。論文將微流控精確,迅速的特點(diǎn)與MEMS批量制造優(yōu)勢相結(jié)合,從理論上提出了一種新型熱驅(qū)動微流控光開關(guān)設(shè)計(jì),將波導(dǎo)結(jié)構(gòu)和開關(guān)功能結(jié)構(gòu)集成在一個(gè)基底結(jié)構(gòu)上,使器件陣列具有體積微小,易集成,可靠性好的優(yōu)點(diǎn)。依據(jù)熱力學(xué)定理和微流體特性,創(chuàng)新地提出了利用表面張力作為光開關(guān)器件的驅(qū)動力,控制折射率匹配的液體在微通道內(nèi)秩序流動的方案,提出并建立了流體在微通道內(nèi)運(yùn)動

2、的熱毛細(xì)效應(yīng)模型?! ?論文闡述了離子交換制作光波導(dǎo)的一般理論,利用有限差分法研究了離子擴(kuò)散波導(dǎo)內(nèi)部離子濃度分布,折射率分布。利用條形函數(shù)法分析了電磁波在擴(kuò)散光波導(dǎo)中的傳播理論,較為系統(tǒng)地研究了制備時(shí)擴(kuò)散溫度,擴(kuò)散時(shí)間等因素對波導(dǎo)光學(xué)性能的影響。并以此為基礎(chǔ),通過K+-Na+二次熱交換的方法制備了平面和條形光波導(dǎo),控制擴(kuò)散溫度和擴(kuò)散時(shí)間,制得了不同工藝條件下的光波導(dǎo)。制得的光開關(guān)插入損耗為2.9dB,開關(guān)響應(yīng)時(shí)間為110ms。論文分

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