新型壓電掃描器的反饋控制的設計與實現(xiàn).pdf

1、快速控制反射鏡（FSM）廣泛應用于空間光通信、天文觀測、航天技術、激光雷達、激光加工、激光三維測量等領域，是一種可以實現(xiàn)對光束方向進行精密控制或者快速掃描的核心器件。實現(xiàn)掃描器的陣列化技術對于設備反應速度的提升，以及多功能的集成具有極大的意義。要實現(xiàn)陣列化技術，就對系統(tǒng)的各項性能提出了更高的要求。原來的開環(huán)控制技術目前暫時能夠滿足對系統(tǒng)穩(wěn)定性，響應速率等性能的要求，但是采用閉環(huán)控制技術是更好的選擇。
　　本課題主要研究了一維和二維

2、壓電陶瓷驅動的FSM子鏡系統(tǒng)，以及陣列化二維FSM系統(tǒng)的反饋控制技術。硬件方面，完成了傳感器安裝，系統(tǒng)的電磁兼容性（EMC）設計，信號處理電路的設計等內容。軟件方面，完成了數(shù)據(jù)采樣及處理，系統(tǒng)模型的建立等內容，具體包括以下四個方面。
　?。?）根據(jù)傳感器特點及應用環(huán)境，選定電阻應變片作為反饋傳感器，研究并完成了電阻應變片的安裝工作和探測系統(tǒng)的電磁兼容性（EMC）設計，獲得了良好的結果。
　　（2）設計了電阻應變片的信號處理電