微光學掃描器研究.pdf

1、目前掃描器多采用轉棱鏡或轉反射鏡來實現(xiàn)光斑的掃描，這種掃描方式隨著科學應用要求的提高，暴露出了一些缺點，如體積較大，掃描速率比較低等。微光學技術是90年代發(fā)展起來的光電學科前沿技術,是光電技術列陣化、微型化、智能化的主要發(fā)展方向。在國防、航空、航天領域中，微光學技術更是廣泛應用于激光制導、光電跟蹤等。國內在這方面的研究雖然起步稍遲，但目前也已受到普遍重視，掀起了研究熱潮。
　　 本文介紹了三種微光學掃描系統(tǒng)的原理和設計：開普勒型

2、望遠掃描系統(tǒng)、伽利略型望遠掃描系統(tǒng)和微反射式掃描系統(tǒng)。每種系統(tǒng)分成光學部分，機械驅動部分以及驅動電路部分進行描述。其中光學部分的研究是本文的主要內容。
　　 開普勒型望遠掃描系統(tǒng),用光刻熱熔法制作了正透鏡陣列；通過以89C2051單片機為核心的驅動電路，利用電磁力驅動兩片微透鏡的相對移動對入射光進行偏轉。伽利略型望遠掃描系統(tǒng),同樣以光刻熱熔法制作正透鏡陣列，負透鏡陣列則采用在正透鏡表面涂敷高折射率材料的方法制成；掃描原理與開普勒