已閱讀1頁，還剩51頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀
版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內容提供方，若內容存在侵權，請進行舉報或認領
文檔簡介
1、本文介紹了一種熱膜式氣體流量傳感器，該傳感器芯片為平薄膜結構，加熱電阻在敏感芯片的中間;加熱電阻的兩端各有一個測溫熱敏電阻，且加熱電阻和測溫熱敏電阻在腐蝕出來的矩形薄膜中部。在非薄膜的硅襯底上制作三個相同材料的控制電阻，應用在信號處理電路中來實現發(fā)熱控制和溫度補償功能。采用理論模擬和實驗相結合的方法對該種微傳感器的結構進行了優(yōu)化和驗證。首先，本課題利用ANSYS等軟件對流量傳感器芯體進行建模并對結構表面溫度場模擬分析。再采用MEMS工藝
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網頁內容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內容的表現方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容，請與我們聯系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 數字型車用熱膜式空氣流量傳感器設計.pdf
- 熱膜式氣體流量傳感器的制備及性能研究.pdf
- 高性能MEMS熱膜式氣體流量傳感器設計.pdf
- 多傳感器空氣流量的仿真測試.pdf
- 基于熱膜探頭的氣體流量傳感器研究.pdf
- 車用熱膜式空氣質量流量傳感器的研究.pdf
- 柔性熱膜質量流量傳感器的制備與性能研究.pdf
- 空氣流量傳感器智能測試系統.pdf
- 硅基熱溫差式氣體流量傳感器的研究.pdf
- 微型熱式氣體流量傳感器的穩(wěn)態(tài)傳熱研究.pdf
- 熱式和浮子流量傳感器關鍵技術研究.pdf
- 應用于汽車的溫差式空氣流量傳感器的研究.pdf
- 溫度場對熱膜式氣體流量傳感器內顆粒物沉積影響研究.pdf
- 沖量式谷物流量傳感器研究.pdf
- 數字式汽車智能化空氣流量傳感器的研究.pdf
- 熱式風速傳感器設計.pdf
- 卡門渦旋式空氣流量傳感器的構造原理與檢測
- 永磁式電磁流量傳感器的研究.pdf
- 新型車用翼片式空氣流量傳感器研究.pdf
- 汽車智能化空氣流量傳感器的研究.pdf
評論
0/150
提交評論