基于MEMS技術的熱式風速傳感器研究.pdf

1、風速傳感器被廣泛應用于人民日常生活和國民經(jīng)濟各個領域,是發(fā)展工農業(yè)生產、環(huán)境監(jiān)測、自動化控制、氣象探測等必不可少的重要工具。熱式風速傳感器以其獨特的優(yōu)勢始終受到國內外研發(fā)人員的關注。圍繞器件的性能提高,在熱式風速傳感器的工作方式、測量原理、器件結構、材料選取等方面不斷有新的發(fā)展和突破。
　　本文在對熱式風速傳感器的線性、動態(tài)響應等特性進行分析的基礎上，研究并設計制造了一種新型結構的MEMS熱式風速傳感器。介紹了結構方面的設計、構建

2、了實驗模型、并對實驗數(shù)據(jù)進行了分析。提供了從電路方面進行溫度補償?shù)姆椒?。探討了影響傳感器響應時間的因素,并說明如何控制這些因素提高產品的快速響應能力。確定熱式風速傳感器的工藝參數(shù),還有基于MEMS加工技術的風速傳感器的工藝方法,介紹了關鍵工藝過程和控制措施。通過恒溫工作狀態(tài)與恒壓工作狀態(tài)下的比較,詳細介紹了數(shù)學模型構建與可靠性設計的有效方法。該傳感器的敏感部分采用的是微懸橋結構,微懸橋靈敏度高、功耗較小、熱容也比較小。本文對研制的新型結