基于MEMS傳感器技術(shù)的數(shù)字式傾角儀的研究.pdf

1、角度測量在幾何量測量中有著重要的地位。隨著工業(yè)體系對(duì)角度測量技術(shù)要求的提高，在很多應(yīng)用現(xiàn)場，現(xiàn)有的角度測量儀器由于測量范圍、精度以及體積和功耗的局限，已經(jīng)漸漸不能滿足測量要求。 本課題針對(duì)目前在機(jī)床、飛機(jī)和輪船等制造領(lǐng)域以及鐵軌及軍用導(dǎo)航系統(tǒng)中的大角度測量問題，對(duì)角度測量方法及儀器進(jìn)行了深入研究；并設(shè)計(jì)出一種基于MEMS技術(shù)的數(shù)字式傾角儀可適用于±15°（或±30°）的大角度測量。 本論文主要內(nèi)容如下： 1.分析

2、了國內(nèi)外測量儀器的現(xiàn)狀和測量儀器數(shù)字化、智能化和集成化的發(fā)展趨勢。 2.介紹了傾角傳感器SCA103T的基本工作原理和其作為傾角儀敏感元件的優(yōu)缺點(diǎn)，對(duì)它的各項(xiàng)技術(shù)參數(shù)進(jìn)行了分析和選擇，確定傾角儀所能達(dá)到的測量精度。 3.對(duì)硬件電路進(jìn)行了詳細(xì)的介紹，分為角度傳感器測量系統(tǒng)和主控電路系統(tǒng)兩個(gè)部分。 4.介紹了軟件系統(tǒng)的主要任務(wù)和總體思路，并分下位機(jī)和上位機(jī)兩部分分別進(jìn)行論述。 5.針對(duì)傾角傳感器的輸出值與被測