基于MEMS技術(shù)的三軸電容式加速度傳感器研究.pdf

1、基于MEMs技術(shù)的三軸電容式加速度傳感器研究ResearchofaTri—AxisCapacitiveAccelerometerbasedonMEMSTechnology作者姓名塞堡j盞———一學(xué)位類型堂壓亟—土二一學(xué)科、專業(yè)邀電王堂皇固體立j生研究方向邀電王扭越丕統(tǒng)遮鹽魚盟導(dǎo)師及職稱迕直越副麴盔L一2012年4月獨創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學(xué)位論文是本人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進行的研究J：作及取得的研究成果。據(jù)我所知，除了文中特別加以標(biāo)注和致謝的

2、地方外，論文中不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果，也不包含為獲得金日里』些塞堂或其他教育機構(gòu)的學(xué)位或證書而使用過的材料。與我一同二I：作的同志對本研究所做的任何貢獻(xiàn)均已在論文中作了明確的說明并表示謝意。學(xué)位論文作者簽名：簽字日期：學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書本學(xué)位論文作者完全了解金月墨三：些太堂有關(guān)保留、使，j學(xué)位論文的規(guī)定，有權(quán)保留并向國家有關(guān)部門或機構(gòu)送交論文的復(fù)印件和磁盤，允許論文被查閱和借閱。本人授權(quán)僉避三!二些丕堂可以將學(xué)位論文