Sigma-delta電容式微加速度傳感器系統(tǒng)研究.pdf

1、微加速度傳感器是MEMS的重要研究領域之一，在工業(yè)控制、環(huán)境監(jiān)控、汽車系統(tǒng)以及生物醫(yī)療診斷等眾多領域有著廣泛的應用。電容式微加速度傳感器是一種典型的MEMS產(chǎn)品，有關它的建模、仿真和優(yōu)化設計研究，對于提高產(chǎn)品性能、縮短研制周期、降低成本有著極為重要的意義。 本文基于國內外電容式微加速度傳感器的結構特點，分析了微機械結構和閉環(huán)微加速度傳感器工作原理，研究了sigma-delta調制技術，在此基礎上建立了sigma-delta電容式

2、微加速度傳感器系統(tǒng)模型。系統(tǒng)采用sigma-delta二階調制器結構對信號進行模數(shù)轉換。同時調制器提供反饋信號，實現(xiàn)了電容式微加速度傳感器系統(tǒng)的閉環(huán)工作模式。本文對系統(tǒng)級非理想因素進行了詳細分析。文中在SIMULINK環(huán)境下構造了傳感器系統(tǒng)的非理想因素模型，為了滿足行為級對sigma-delta電容式微加速度傳感器系統(tǒng)的仿真需要，建立了非理想情況下整體系統(tǒng)的仿真模型，并且分別驗證了單一非理想因素對系統(tǒng)的影響。仿真結果表明，考慮到所有非理