單片集成CMOS-MEMS三軸電容式加速度傳感器.pdf

1、集成電路工藝技術和微機械加工工藝技術制備的微機械加速度計,以其體積小、重量輕、功耗小、成本低、易集成、抗過載能力強和可大批量生產的特點成為微慣性測量組合的核心元件。電容式加速度計由于其低噪聲、高精度、低功耗的特點是微機械加速度計中應用比較成功的一種。本文圍繞車載MEMS傳感器項目設計一種基于CMOS-MEMS技術的單片集成多層金屬結構的三軸式電容式加速度計。具體的主要工作和成果如下:
　　(1)對比分析不同種檢測原理的加速度傳感器

2、的優(yōu)缺點和可行性,選擇梳齒型電容式結構作為論文研究的主題方向;
　　(2)針對梳齒型電容檢測方式,設計出可同時檢測三個軸向加速度的整體傳感器結構。該傳感器整體檢測結構主要包括:檢測XY軸質量塊、檢測Z軸的質量塊、采用等層的定齒動齒均勻式梳齒結構的XY軸敏感單元、采用金屬層相互交錯的Z軸敏感單元、用于支撐XY軸向質量塊的L型彈性梁、用于支撐Z軸向質量塊的一字型支撐梁、錨點;
　　(3)利用有限元軟件進行傳感器結構整體力學性能的