MEMS高g值加速度傳感器研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、MEMS高g值加速度傳感器是MEMS技術應用于引信侵徹過程慣性測試與控制的關鍵之一。本課題的主要任務是研制基于武器彈藥系統(tǒng)高過載侵徹過程的引信用MEMS加速度傳感器，主要技術指標有量程150000g；抗過載200000g。該項研究成果的應用必將為我國各種攻擊性武器的研制、設計和定型起到積極的推動作用。 論文選擇壓阻式加速度傳感器作為研究對象，首先建立結構的力學模型，在此基礎上進行了結構的應力分析、頻率分析及阻尼分析，從而完成結構

2、參數的優(yōu)化及確定，并利用sjmulink對已確定的結構進行二階系統(tǒng)分析，包括正弦函數輸入響應和沖擊函數輸入響應。運用有限元軟件ANSYS對該加速度傳感器結構進行了靜態(tài)仿真、模態(tài)仿真和瞬態(tài)動力學仿真，仿真分析了加速度傳感器的量程、安全系數、抗過載性能、頻率響應、響應時間及200000g瞬態(tài)沖擊下的幅值響應。確保該結構在200000g過載環(huán)境下可以安全可靠的工作。同時，根據靜態(tài)應力仿真結果進行壓敏電阻位置及結構參數的優(yōu)化，從而完成傳感器輸出

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