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1、該文圍繞國(guó)家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目"望遠(yuǎn)鏡主動(dòng)光學(xué)技術(shù)的預(yù)研"(以下簡(jiǎn)稱(chēng)"預(yù)研")中對(duì)納米級(jí)微位移定位傳感器提出的要求展開(kāi)深入的研究.由于電容傳感器具有非接觸式測(cè)量、測(cè)量范圍大、線性好、分辨力高等優(yōu)點(diǎn),該項(xiàng)目選用電容測(cè)微儀完成高精度的定位.它要求電容測(cè)微系統(tǒng)在-25um~+25um的測(cè)量范圍內(nèi)分辨力達(dá)到5nm/mV,線性度為5‰,穩(wěn)定性好于20mV/h,傳輸距離為5米,在溫度變化10℃/3h,相對(duì)溫度70~80﹪的環(huán)境條件下對(duì)"預(yù)研"的實(shí)
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