高頻大功率脈沖偏壓電源的設(shè)計(jì).pdf

1、磁控濺射技術(shù)以其“高速”,“低溫”兩大特點(diǎn)被廣泛應(yīng)用于在薄膜制備領(lǐng)域。而目前磁控濺射離子鍍中廣泛采用的直流偏壓電源已不能充分發(fā)揮磁控濺射的優(yōu)越性,制約了低溫磁控濺射的發(fā)展。因此高頻、大功率的脈沖偏壓電源已成為磁控濺射用偏壓電源的發(fā)展方向。本文采用了TI公司的高性能DSP-TMS320F2812,設(shè)計(jì)了一款用于磁控濺射離子鍍高頻、大功率的數(shù)字化脈沖偏壓電源。結(jié)合脈沖偏壓電源的指標(biāo)要求,首先分析和研究了脈沖偏壓電源在高頻和大功率條件下的的實(shí)

2、現(xiàn)方案,并對(duì)高頻大功率的主電路和控制系統(tǒng)進(jìn)行了理論設(shè)計(jì)和參數(shù)估算。為了提高電源系統(tǒng)的穩(wěn)定性及抗干擾能力,建立了電源系統(tǒng)的小信號(hào)模型,進(jìn)而進(jìn)行數(shù)字控制器的設(shè)計(jì),得到了良好的PID參數(shù),獲得了良好的控制性能。并使用PSPICE及MATLAB對(duì)電源系統(tǒng)進(jìn)行了詳細(xì)的仿真分析。在此基礎(chǔ)上,采用DSP技術(shù)對(duì)脈沖偏壓電源進(jìn)行數(shù)字控制。選擇TI公司的DSP芯片TMS320F2812為控制核心,給出了各單元如驅(qū)動(dòng)電路、采樣及信號(hào)調(diào)理的硬件設(shè)計(jì)。軟件設(shè)計(jì)則