微噴部件陣列群孔集成加工裝置的研究.pdf

1、微細(xì)電火花加工技術(shù)作為微細(xì)加工領(lǐng)域重要的組成部分，在電子、儀器、原子能、化纖、光導(dǎo)纖維、醫(yī)療器械等領(lǐng)域的微器件加工方面被廣泛采用。隨著微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)和現(xiàn)代電子電力技術(shù)的迅速發(fā)展，尤其是微細(xì)電極的在線制作技術(shù)的成熟，使得微細(xì)電火花加工技術(shù)進(jìn)入了實用化的階段，越來越受到人們的重視。微細(xì)陣列群孔在光纖連接頭、化纖噴絲板、打印機(jī)噴墨板等構(gòu)件中被廣泛采用，因此研究高效率、性能可靠的微細(xì)加工技術(shù)及設(shè)備具有十分重要的意義。
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2、一種微噴部件陣列群孔集成加工裝置，可在線加工10μm級微細(xì)陣列群孔（≥256個），其主要模塊包括：X、Y軸宏微復(fù)合進(jìn)給機(jī)構(gòu)模塊、Z軸宏微復(fù)合進(jìn)給機(jī)構(gòu)模塊、電火花線電極磨削裝置、主軸旋轉(zhuǎn)裝置、工件真空吸盤等，著重對其結(jié)構(gòu)特點、動作原理、設(shè)計要點進(jìn)行了分析。利用SolidWorks三維設(shè)計軟件建立其模型，并利用Ansys Workbench有限元分析軟件進(jìn)行機(jī)械結(jié)構(gòu)有限元分析，得到了裝置各個零部件的應(yīng)力分布情況，分析了對整機(jī)結(jié)構(gòu)強(qiáng)度和剛度的